一种三维Mach-Zehnder型抗共振反射光波压力传感器

作     者：禹忠 蒋庄德 李蓉 王海容 YU Zhong;JIANG Zhuangde;LI Rong;WANG Hairong

作者机构：西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安710049 西安机电信息研究所西安710065 

基　　金：国家"863"计划项目(2009AA04Z330) 国家自然科学基金项目(50535030) 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2010年第31卷第4期

页      码：526-529,534页

摘      要：为了缩短传感器尺寸,提高耦合效率,提出了一种三维Mach-Zehnder型抗共振反射光波(ARROW)压力传感器。该传感器为一个金属分割的层叠ARROW结构以及两个3dB垂直耦合器组成的Mach-Zehnder干涉仪。利用有限元方法(FEM)研究、分析了硅弹性膜片应力分布,确定传感器的结构设计参数。使用BPM分析由光弹性效应引起输出变化及其与压力之间的关系。结果表明,该传感器可通过调整垂直耦合器的长度来调节耦合效率,无需弯曲波导,可降低器件尺寸,实现压力检测。

主 题 词：抗共振反射光波导 压力传感器 有限元方法 束传播法 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.16818/j.issn1001-5868.2010.04.008

馆 藏 号：203702953...