0.22 THz折叠波导慢波结构微细WEDM加工技术

作     者：刘俊 周亚军 戴晶怡 向伟 王亚军 陈虎 LIU Jun;ZHOU Ya-jun;DAI Jing-yi;XIANG Wei;WANG Ya-jun;CHEN Hu

作者机构：中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 

基　　金：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室资助项目(2012CJMZZ00007) 

出 版 物：《太赫兹科学与电子信息学报》 (Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology)

年 卷 期：2014年第12卷第3期

页      码：330-333页

摘      要：0.22 THz折叠波导慢波结构具有尺寸小,刚度低,精确度与表面光洁度要求高,结构复杂的特点。若采用微数控铣削加工方式,加工产生的应力易造成零件变形。微细电火花线切割加工技术为无刚性电蚀加工,非常适合慢波结构的微细加工。本文从微能脉冲电源、微细电极丝、表面质量、表面残余应力等方面,介绍了0.22 THz折叠波导慢波结构微电火花线切割加工技术,实践证明:采用微电火花线切割加工工艺加工出的0.22 THz折叠波导慢波结构,经测试满足了设计要求。

主 题 词：折叠波导慢波结构 微细电火花线切割 表面质量 表面残余应力 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.11805/TKYDA201403.0330

馆 藏 号：203704955...