全自动薄膜应力仪

作     者：赵升升 程毓 张小波 梁凯 Zhao Shengsheng;Cheng Yu;Zhang Xiaobo;Liang Kai

作者机构：深圳职业技术学院深圳现代设计与制造技术重点实验室深圳518055 深圳市速普仪器有限公司深圳518000 

基　　金：国家自然科学基金项目(No.51401128) 深圳市科技计划项目(No.JCYJ20140508155916426) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2016年第36卷第1期

页      码：98-102页

摘      要：基于基片弯曲法原理,利用光杠杆放大曲率的方法,本工作研制了一套高精度全自动薄膜应力测试仪。在前期工作的基础上,该仪器实现了样品中心自动定位,样品表面曲率半径高精度测试,以及薄膜残余应力值自动计算等功能。标准光学玻璃圆台表面曲率半径的实测结果表明,应力仪测试精度达到千分位。此外,TiN薄膜应力沿层深分布的测试结果进一步验证了设备的可靠性。

主 题 词：薄膜应力测试仪 应力测试 剥层曲率半径法 残余应力 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2016.01.17

馆 藏 号：203705514...