自动对焦显微镜系统设计及仿真

作     者：刘璐 闫佩正 但西佐 胡慧然 鲍思源 王永红 LIU Lu;YAN Pei-zheng;DAN Xi-zuo;HU Hui-ran;BAO Si-yuan;WANG Yong-hong

作者机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 

基　　金：国家重点研发计划(2016YFF0101803) 国家自然科学基金项目(51805137) 

出 版 物：《测控技术》 (Measurement & Control Technology)

年 卷 期：2019年第38卷第7期

页      码：50-54页

摘      要：设计了一种基于条纹投影的自动对焦显微镜系统。通过红外光源将光栅掩膜板投射到被测物表面,用于对焦判断。通过白光光源进行系统照明。使用带通滤光片分离出由红外光源投射的光栅像,并由线阵CCD采集,用于离焦量和离焦方向的判断。由白光光源照射得到被测物的像,并由面阵CCD接受用于直接观测。使用Tracepro对设计的系统进行仿真,分析得到适用于线阵CCD采集的光栅图的一维清晰度评价函数,并使用系统对不同被测物进行仿真对焦实验与误差分析。仿真结果表明,本系统可对不同被测物进行自动对焦。

主 题 词：显微镜 自动对焦 清晰度 光栅掩膜板 

学科分类：081203[081203] 08[工学] 0835[0835] 0803[工学-仪器类] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.19708/j.ckjs.2019.07.011

馆 藏 号：203705877...