聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究

作     者：杨子健 韦波 王敬松 崔千红 杨建红 YANG Zi-jian;WEI Bo;WANG Jing-song;CUI Qian-hong;YANG Jian-hong

作者机构：兰州大学物理学院甘肃兰州730000 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2009年第28卷第4期

页      码：56-58页

摘      要：改变传统丝网印刷制作电极的方法,采用正胶反刻、干湿结合的CMOS工艺研制出了以聚酰亚胺为感湿介质的相对电容式湿度传感器。并对其结构进行了理论分析,确定了湿度传感器的工艺步骤和版图设计。对其测量范围、湿滞和响应时间进行了测试。通过实验结果与模拟结果的对比分析,给出了该实验中存在的问题和改进意见。

主 题 词：湿度传感器 电容 CMOS工艺 响应时间 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2009.04.018

馆 藏 号：203709427...