微米、亚微米及深亚微米CMOS工艺技术研究

作     者：何玉表 张文肃 He Yubiao;Zhang Wensu (Northeast Microelectronics Institute, Ministry of Electronics Industry,Shenyang 110032)

作者机构：电子工业部东北微电子研究所沈阳110032 

出 版 物：《微处理机》 (Microprocessors)

年 卷 期：1997年第18卷第1期

页      码：1-7页

摘      要：对微米、亚微米及深亚微米CMOS工艺技术，包括原始硅材料、设计规则、典型器件结构、典型工艺流程和关键工艺技术等，作出全面地概括地分析与研究。

主 题 词：亚微米 深亚微米 微米 CMOS 集成电路 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203717254...