光快速热处理温度对氧化银多孔薄膜微结构和表面形貌演化的影响

作     者：冯红亮 梁艳 郜小勇 张增院 马姣民 FENG Hong-liang;LIANG Yan;GAO Xiao-yong;ZHANG Zeng-yuan;MA Jiao-min

作者机构：郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室河南郑州450052 河南工业大学设计艺术学院河南郑州450000 

基　　金：国家自然科学基金(No 60807001) 郑州大学大学生创新基金(No A196) 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2010年第47卷第5期

页      码：13-15页

摘      要：利用直流反应磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了氧化银薄膜。X射线衍射和扫描电子显微镜表明制备的氧化银薄膜主要由Ag和Ag2O组成,具有疏松、多孔的表面特征。制备的氧化银薄膜经过5 min光快速热处理后,薄膜由多晶转变为非晶;随着退火温度由200℃升高到300℃,氧化银薄膜表面由疏松、多孔结构向沟道、坑和孔洞联通结构,再向孔洞和洼地结构演变。这些演变归结为氧化银薄膜的不稳定性和严重的表面再构的结果。

主 题 词：氧化银薄膜 磁控溅射 光快速热处理 多孔薄膜 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2010.05.012

馆 藏 号：203718327...