角分辨光电子能谱光束线1200line/mm光栅研制

作     者：徐向东 刘正坤 邱克强 刘颖 洪义麟 付绍军 

作者机构：中国科学技术大学国家同步辐射实验室安徽合肥230029 

基　　金：国家自然科学基金(10875128)资助课题 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2011年第31卷第10期

页      码：58-62页

摘      要：国家同步辐射实验室新建了覆盖5～40eV的低能区高分辨率角分辨光电子能谱光束线。其球面光栅单色仪包含了三块光栅,即300,600和1200line/mm球面层式(Laminar)光栅。采用全息离子束刻蚀工艺,在硅光栅基片上成功地刻蚀出1200line/mm、占空比0.35、槽深35nm、有效刻划面积大于120mm×20mm的Laminar光栅。在角分辨光电子能谱光束线完成调试的同时,进行了初步的光谱标定及性能测试。波长的刻度和光谱测试直接采用波荡器辐射作为光源,用已知气体的吸收峰做标准来进行标定。测量结果表明:1200line/mm光栅测量Ar的吸收谱,在29.2eV附近可得到2.6meV的能量分辨,分辨本领约为11000,满足了光束线设计要求。

主 题 词：衍射光栅 全息光刻 离子束刻蚀 角分辨光电子能谱 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos201131.1005008

馆 藏 号：203718754...