真空镀膜机控制系统的温控改造

作     者：刘嘉滨 沈学浩 王晓玲 LIU Jia-bin;SHEN Xue-hao;WANG Xiao-ling

作者机构：上海交通大学物理与天文系上海200240 上海交通大学媒体与设计学院上海200240 

出 版 物：《实验室研究与探索》 (Research and Exploration In Laboratory)

年 卷 期：2014年第33卷第12期

页      码：49-53页

摘      要：在有限的教学经费及传统真空镀膜设备不报废的条件下,结合实际实验教学需要,对设备进行针对性的改造,使其能最大化使用。DM-240型真空镀膜机的扩散泵采用的是水冷却系统,但在实验结束过程中,需要人工判断扩散泵是否冷却,然后进行设备与水路系统的关闭操作,并且该过程占据相当的实验时间,影响到实验教学质量。针对扩散泵冷却控制系统进行温控自动化改造,利用温度控制和阀门控制设备,实现对扩散泵冷却系统温度的监控,并可自动关闭水冷却系统与机组设备,做到无人值守。不仅为实验教学提供了充足的实验时间,也可有效地避免因误操作而造成对设备的损坏。

主 题 词：真空镀膜 真空泵 扩散泵 

学科分类：08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-7167.2014.12.013

馆 藏 号：203720483...