微细超声工作台的设计与微振幅测量

作     者：连海山 郭钟宁 张伟 何俊峰 韩睿聪 LIAN Hai-shan;GUO Zhong-ning;ZHANG Wei;HE Jun-feng;HAN Rui-cong

作者机构：广东工业大学机电工程学院广州510006 

基　　金：国家自然科学基金重点资助项目(U1134003) 国家自然科学基金(51175091) 

出 版 物：《振动与冲击》 (Journal of Vibration and Shock)

年 卷 期：2015年第34卷第7期

页      码：199-203页

摘      要：微细超声工作台是微细超声加工机床与微细超声振动辅助加工机床的关键零部件,其振幅值直接影响加工精度与加工效率。传统的振幅测量方法很难准确的测出微细超声工作台的微振幅。基于精密微三维运动平台的高分辨率,提出了一种恒力控制的微振幅测量方法,成功的测量出能精确到0.1μm的微振幅。首先对微细超声工作台中的微细超声振动系统进行了理论设计,然后采用基于恒力控制的超声振幅测量方法,对不同功率作用下的微细超声振动系统的振幅值进行了测量。

主 题 词：微细超声工作台 微细超声加工 微振幅 设计 测量 

学科分类：12[管理学] 083002[083002] 1204[管理学-公共管理类] 0830[工学-生物工程类] 120402[120402] 1002[医学-临床医学类] 08[工学] 0837[0837] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.13465/j.cnki.jvs.2015.07.031

馆 藏 号：203720559...