一种基于激光散射理论的超净光学表面检测系统

作     者：赵晓萌 李秋实 陈晓丹 陈超英 

作者机构：广东省科技基础条件平台中心广东广州510000 广州军区军械装备技术保障大队广东广州510500 暨南大学理工学院光电工程系广东广州510632 

出 版 物：《科技创新与应用》 (Technology Innovation and Application)

年 卷 期：2015年第5卷第22期

页      码：7-8页

摘      要：文章针对超净光学表面污损较小、检测评价困难的问题,基于微尘对激光的散射理论,通过对低噪声光电前放设计、锁相放大电路设计等研制了超净光学表面微尘检测系统,实现了光学表面的高精度、高效率、低成本、无损检测,为光学表面损伤提供了检测和标定手段。实验表明,系统具有很好的稳定性、灵敏度和信噪比,能实现对直径5微米颗粒的精确测量。

主 题 词：超净光学表面 激光散射法 微尘检测 微弱信号检测 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

馆 藏 号：203720611...