高功率激光装置中空间滤波器洁净控制的优化设计

作     者：李养帅 朱健强 庞向阳 焦翔 吴永忠 Li Yangshuai;Zhu Jianqiang;Pang Xiangyang;Jiao Xiang;Wu Yongzhong

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室上海201800 中国科学院大学北京100049 

基　　金：中以高功率激光技术国际合作研究(2010DFB70490) 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2015年第42卷第B9期

页      码：84-89页

摘      要：利用计算流体动力学（CFD）技术，对有机污染物在空间滤波器内的扩散情况进行了数值模拟，得到了在不同洁净控制设计方案下，有机污染物物在空间滤波器真空系统中随扩散时间的浓度分布情况，而后在优选设计的基础上对模型进一步优化，最终减少了有机污染物对空间滤波器内光学元器件的污染，对于实现高功率激光装置的高效、精密运行具有重要意义。

主 题 词：光学设计 空间滤波器 优化设计 计算流体动力学 有机物污染 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/cjl201542.s102015

馆 藏 号：203720746...