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基于小波数字滤波的傅里叶变换轮廓法

基于小波数字滤波的傅里叶变换轮廓法

作     者:傅爽 王蕴珊 韩广兵 司书春 

作者机构:山东大学物理与微电子学院山东济南250061 

出 版 物:《光电子.激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期:2004年第15卷第2期

页      码:205-207页

摘      要:采用一种基于小波数字滤波的傅里叶变换轮廓法测物体三维形貌。先利用小波变换基本滤除变形栅线图中的直流分量和高频分量,再进行相位计算。结果表明,该方法在一定程度上解决了频率混迭的问题,从而也降低了对低通滤波器的设计要求。

主 题 词:小波变换 数字滤波 傅里叶变换轮廓 三维形貌 频率混迭 

学科分类:070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录:

D O I:10.3321/j.issn:1005-0086.2004.02.020

馆 藏 号:203721461...

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