基于FPGA的RFID晶圆并行测试系统设计

作     者：张慧雷 景为平 Zhang Huilei;Jing Weiping

作者机构：南通大学江苏省集成电路设计重点实验室江苏南通226019 

基　　金：江苏省物联网和新一代信息技术研发及产业化项目(SU2013-137) 江苏省产学研联合创新资金-前瞻性联合研究项目(BY2013042-03) 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2015年第40卷第11期

页      码：866-871页

摘      要：针对高频射频识别(RFID)晶圆在中测(CP)阶段单通道串行测试效率低下的问题,设计了一种基于现场可编程门阵列(FPGA)的多通道并行测试系统以提高测试效率。鉴于RFID晶圆上没有集成天线,提出了一种新的基于探针技术的射频耦合式的晶圆检测方法,模拟芯片实际工作。系统选用FPGA为微控制器,配以多路射频耦合通信电路,实现测试向量生成及快速信号处理。再结合上位机与探针台高速并行的通用接口总线(GPIB)通信接口,以实现晶圆级RFID芯片测试。经实际测试,该系统能够实现16通道并行测试,与单通道串行测试系统相比,效率提升了97%,可靠性好,稳定性高,可应用高密度RFID晶圆的中测。

主 题 词：并行测试 高频射频识别(RFID) 晶圆测试(CP) 射频耦合 现场可编程门阵列(FPGA) 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.13290/j.cnki.bdtjs.2015.11.013

馆 藏 号：203724770...