三维触发式坐标测量机测头误差分析与性能实验

作     者：丁邦宙 费业泰 夏豪杰 刘芳芳 Ding Bangzhou;Fei Yetai;Xia Haojie;Liu Fangfang

作者机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院合肥230009 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50627501) 

出 版 物：《农业机械学报》 (Transactions of the Chinese Society for Agricultural Machinery)

年 卷 期：2011年第42卷第11期

页      码：228-230,213页

摘      要：阐述了基于光纤布拉格光栅原理的三维触发式坐标测量机测头传感系统及控制箱设计方法,从机械结构、传感信号解调系统以及测量过程中逼近速度和逼近距离等几个角度分析了测头误差来源。根据测头的设计参数要求进行了测头的灵敏度、复位性和测力等性能实验,结果表明该测头单方向重复定位精度为20 nm,灵敏度为50 nm,测量力小于5 mN。

主 题 词：坐标测量机 光纤布拉格光栅 触发式测头 误差源分析 

学科分类：0710[理学-生物科学类] 08[工学] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-1298.2011.11.042

馆 藏 号：203726274...