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硅单晶应力自动检测系统

硅单晶应力自动检测系统

作     者:梁汉成 覃甘明 赵寿南 

作者机构:华南理工大学 

基  金:国家自然科学基金 

出 版 物:《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期:1989年第10卷第2期

页      码:147-150页

摘      要:介绍了一种利用微型计算机自动采集和处理数据的硅单晶应力检测系统。该系统由红外光源、偏振元件、样品架、红外摄像机、电视监视器、专用I/O 接口以及微型计算机组成。用自己设计的软件对光弹图形进行处理,得到样片中各点的应力分布。

主 题 词:硅单晶 自动检测系统 红外摄像机 微型计算机 偏振元件 电视监视器 样品架 数据传输接口 红外光源 电视摄像机 

学科分类:08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录:

D O I:10.19650/j.cnki.cjsi.1989.02.006

馆 藏 号:203730954...

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