非制冷MEMS红外成像系统

作     者：陈大鹏 焦彬彬 李超波 石莎莉 史海涛 程腾 张青川 伍小平 CHEN Da-peng;JIAO Bin-bin;LI Chao-bo;SHI Sha-li;SHI Hai-tao;CHENG Teng;ZHANG Qing-chuan;WU Xiao-ping

作者机构：中科院微电子研究所北京100029 中科院微电子研究所北京100029 中科院微电子研究所北京100029 中科院微电子研究所北京100029 中国科学技术大学安徽合肥230037 中国科学技术大学安徽合肥230037 中国科学技术大学安徽合肥230037 中国科学技术大学安徽合肥230037 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2007年第36卷第Z1期

页      码：7-9页

摘      要：利用光力学效应设计研制了非制冷MEMS红外焦平面阵列及图像探测系统,提出并制作了新型间隔镀金的、无Si衬底的非制冷MEMS红外成像焦平面阵列,分析了FPA热响应时间、NETD、像元的一致性等问题,与光学检测系统共同组成红外成像系统,成功得到了室温背景下人体的热像.

主 题 词：非制冷红外焦平面 MEMS 氮化硅 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2007.z1.005

馆 藏 号：203731044...