高质量简谐振子的研制

作     者：马广鹏 陈才和 唐东林 崔宇明 MA Guang-peng;CHEN Cai-he;TANG Dong-lin;CUI Yu-ming

作者机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室天津300072 

基　　金：国家自然科学基金'光电集成加速度地震检波技术理论与试验研究'项目资助(40274047) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2006年第19卷第2期

页      码：301-304页

摘      要：介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件-简谐振子的工作和设计原理,并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素,在试验中对各向异性腐蚀工艺进行了研究和改进,制作出了高质量的简谐振子。成功用于国家自然科学基金项目“光电集成加速度地震检波技术理论与试验研究”的集成光学器件试验中。

主 题 词：MOEMS 简谐振子 优化设计 各向异性腐蚀 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 080101[080101] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2006.02.008

馆 藏 号：203732135...