多晶硅铸锭炉加热室的设计

作     者：陈国红 王晓军 姚文军 苏文生 CHEN Guo-hong;WANG Xiao-jun;YAO Wen-jun;SU Wen-sheng

作者机构：国防科学技术大学研究生院湖南长沙410073 湖南证兴设备安装工程有限公司湖南株洲412003 中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2007年第36卷第7期

页      码：36-39页

摘      要：加热室是多晶硅铸锭炉的关键部件之一。多晶硅锭的生长工艺过程都要通过加热室的调整来实现。着重介绍了多晶硅铸锭炉加热室的结构设计。

主 题 词：多晶硅铸锭炉 加热室 石墨加热器 隔热层 

学科分类：08[工学] 0806[工学-电气类] 080601[080601] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2007.07.011

馆 藏 号：203732488...