纳米硅薄膜超微压力传感器设计与性能研究

作     者：沈思国 丁建宁 潘海彬 凌智勇 程广贵 范真 SHEN Si-guo;DING Jian-ning;PAN Hai-bin;LING Zhi-yong;CHENG Guang-gui;FAN Zhen

作者机构：江苏大学微纳米研究中心江苏镇江212013 江苏工业学院低维材料微纳器件与系统中心江苏常州213164 

基　　金：江苏省科技支撑计划资助项目(BE2009123) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2010年第29卷第10期

页      码：62-64页

摘      要：利用纳米硅薄膜良好的力学与电学特性,设计出超微压压力传感器芯片结构:双岛—梁—膜结构。利用ANSYS进行了静力分析、模态分析、谐反应分析、瞬态分析,结果表明:该结构具有灵敏度高、线性度好、动态响应快等优点。

主 题 词：纳米硅薄膜 超微压压力传感器 结构 性能 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2010.10.020

馆 藏 号：203733776...