基于压电陶瓷的惯性驱动器控制技术研究

作     者：温建明 马继杰 程光明 WEN Jian-ming;MA Ji-jie;CHENG Guang-ming

作者机构：浙江师范大学精密机械研究所金华321004 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51175478) 浙江省公益性技术应用研究计划项目(2011C23040) 浙江省自然科学基金资助项目(Y1110529) 浙江省教育厅资助项目(Y201016454) 

出 版 物：《黑龙江大学自然科学学报》 (Journal of Natural Science of Heilongjiang University)

年 卷 期：2012年第29卷第2期

页      码：265-268页

摘      要：由于压电陶瓷迟滞效应和摩擦力非线性等因素影响,压电惯性驱动器开环控制存在着一定的误差,定位精度较低。为了提高压电惯性驱动器的定位精度,满足高精度控制的需要,提出了基于前馈补偿的模糊PID反馈混合控制器。设计了开环、前馈开环、模糊PID闭环反馈三种控制方式,对压电惯性驱动器定位精度的控制效果进行了相关的试验测试。试验表明,基于前馈补偿的模糊PID闭环反馈控制有效提高了压电惯性驱动器的定位精度,减小了稳态误差,在16μm的运动范围内,定位精度达到0.04μm。

主 题 词：压电 惯性 驱动器 控制 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-7011.2012.02.026

馆 藏 号：203734567...