基于几何模型的表面微加工MEMS工艺层模型生成

作     者：李建华 高曙明 刘玉生 

作者机构：浙江大学CAD&CG国家重点实验室浙江杭州310027 

基　　金：国家863/CIMS主题资助项目(2001AA411310) 教育部跨世纪优秀人才培养计划资助项目。~~ 

出 版 物：《计算机集成制造系统-CIMS》 (COMPUTER INTEGRATED MANUFACTURING SYSTEMS)

年 卷 期：2003年第9卷第12期

页      码：1126-1131页

摘      要：现有微机电系统设计中所存在的一个重要问题是,设计人员需要通过工艺和版图设计来完成几何设计,因此难以用于复杂器件的设计。研究了表面微加工MEMS几何模型到工艺层模型的自动转化,旨在实现MEMS器件几何设计和工艺规划的分离,给出了表面微机械加工的工艺特征的定义和分类方法,并简要介绍了工艺特征的自动识别过程,重点研究了基于工艺特征模型的工艺层模型自动生成方法。最后给出了试验结果。

主 题 词：微机电系统 几何模型 表面微加工 MEMS 工艺层模型 

学科分类：080805[080805] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 080202[080202] 0807[工学-电子信息类] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 0811[工学-水利类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.13196/j.cims.2003.12.83.lijh.014

馆 藏 号：203736840...