三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用

作     者：刘洋 余锦 张雪 貊泽强 聂树真 黄玉涛 樊仲维 陈波 

作者机构：中国科学院光电研究院北京100094 中国科学院大学北京100049 北京国科世纪激光技术有限公司北京100192 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 

基　　金：中国科学院科研装备研制项目(Y2010008) 国家863计划(2011AA030205)资助课题 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2013年第50卷第5期

页      码：153-159页

摘      要：为了满足不同材料的精细加工需求,采用三波长皮秒激光器作为光源,配合自行设计的光学系统和控制系统,研制了三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统。该系统可使用任意一种、两种或三种激光波长进行同工作距加工,通过轴向色差补偿设计,实现轴向焦点补偿最大距离0.4mm,最小焦斑直径为3μm。初步探讨了该系统在微电子行业的应用,进行了铜电极板、手机屏的切割实验以及位置敏感阳极探测器图形的制作,实验证明该系统可满足多种材料的精细加工要求。

主 题 词：激光技术 三波长激光器 皮秒激光 精细加工 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/lop50.051402

馆 藏 号：203740989...