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入射角调谐的三基色导模共振滤光片

入射角调谐的三基色导模共振滤光片

作     者:杨赛 盛斌 张大伟 钱林勇 陈鹏 黄元申 Yang Sai;Sheng Bin;Zhang Dawei;Qian Linyong;Chen Peng;Huang Yuanshen

作者机构:上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海200082 

基  金:国家自然科学基金(11105149) 科技部重大仪器专项(2012YQ170004) 

出 版 物:《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期:2015年第42卷第4期

页      码:323-329页

摘      要:介绍一种入射角调谐红绿蓝三基色导模共振滤光片(GMRF)的实现方法。利用严格耦合波理论(RCWA)分析入射角对导模共振滤光片反射光谱的影响,用TM偏振波在斜入射下得到两个不同位置的共振峰,通过调节入射角,使两个共振峰分别落在可见光波段和红外波段,并通过调整角度实现对可将光波段滤波波长的调谐。通过对参数的优化、调整,设计并制作了周期为544 nm的红、绿、蓝三基色导模共振彩色滤光片,结果显示该结构在26.8°、39.6°、46.0°入射角得到了良好的红、绿、蓝三基色,效率均在80%左右,半峰全宽约为5 nm。当其作为蓝、绿两色滤光片工作时,与传统亚波长导模共振结构相比,其周期相对较长,从而大大降低光栅制作难度。实验结果实现导模共振结构在彩色滤光片方面的应用,并对大周期导模共振器件的制作提供了积极的指导。

主 题 词:光学设计 彩色滤光片 导模共振 亚波长结构 严格耦合波理论 

学科分类:0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录:

D O I:10.3788/cjl201542.0416002

馆 藏 号:203741039...

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