电沉积ZnSe薄膜的合成及性能表征

作     者：于兴芝 张成光 张成红 缪娟 YU Xing-zhi;ZHANG Cheng-guang;ZHANG Cheng-hong;MIAO Juan

作者机构：河南工业职业技术学院机械工程系南阳473009 中国航天科工集团061基地302设计研究所贵阳550009 河南理工大学物理化学系焦作454010 

基　　金：河南省自然科学基金(0511050200) 

出 版 物：《武汉理工大学学报》 (Journal of Wuhan University of Technology)

年 卷 期：2008年第30卷第9期

页      码：40-42,49页

摘      要：在硫酸锌和亚硒酸钠的酸性柠檬酸钠电解液体系中进行ZnSe薄膜生长条件系列实验,为了进一步研究电化学沉积参数对薄膜成分和形貌的影响,采用正交试验方法,对pH值、离子的浓度比、电流密度、络合剂、温度等沉积参数进行了进一步详细研究,得到了最佳电化学沉积参数;最后,用分光光度计、扫描电子显微镜(SEM)和X-射线衍射仪(XRD)对薄膜的成分、形貌和结构进行分析和表征,表明该薄膜的化学计量比接近1∶1。

主 题 词：电沉积 ZnSe薄膜 沉积参数 正交试验 化学计量比 

学科分类：07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3963/j.issn.1671-4431.2008.09.011

馆 藏 号：203742186...