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SEM中阴极荧光收集系统的设计与效率计算—点光源均匀发光模型下的光谱收集效率

SEM中阴极荧光收集系统的设计与效率计算—点光源均匀发光模型下的光谱收集效率

作     者:印建平 高伟建 

作者机构:苏州大学分析测试中心苏州215006 

基  金:国家自然科学基金资助 

出 版 物:《电子显微学报》 (Journal of Chinese Electron Microscopy Society)

年 卷 期:1993年第12卷第3期

页      码:284-290页

摘      要:本文在简单讨论了阴极发光模型与收集效率定义的基础上,重点导出了点光源均匀发光模型下,回转半椭球面镜阴极荧光(Cathode luminescence,简称CL)收集效率的计算公式,分析讨论了椭球参数、CL收集角与收集效率的关系,给出了相应的理论计算和实验结果,并得到了几点重要结论,从而为CL收集与传输系统的设计与研制提供了一些理论依据。

主 题 词:电子显微镜 SEM CL收集系统 CL发光模型 

学科分类:08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录:

馆 藏 号:203746824...

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