嵌入式激光器能量实时控制系统的开发

作     者：来五星 史铁林 杨叔子 LAI Wu-xing;SHI Tie-lin;YANG Shu-zi

作者机构：华中科技大学机械学院湖北武汉430074 

基　　金：国家"863"计划资助项目(2004AA404043) 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2006年第27卷第3期

页      码：328-330页

摘      要：为了减少准分子激光器发射的脉冲与脉冲之间的能量的波动变化,给光刻工艺或微细加工的精度带来影响,需要对一系列激光脉冲的总能量进行控制,使单位点所受激光总的能量误差保持在一定容许范围内。基于DSP芯片开发了用于控制激光脉冲能量的实时嵌入式系统,深入研究了嵌入式系统的系统结构、软硬件设计和控制算法,在实际应用中取得了良好的效果。

主 题 词：DSP 激光器 实时系统 

学科分类：080903[080903] 07[理学] 0809[工学-计算机类] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-5868.2006.03.028

馆 藏 号：203747526...