四光束镀膜监控系统

作     者：许世军 任小玲 XU Shi-jun;REN Xiao-ling

作者机构：西安工业大学数理系 西安工程大学计算机学院陕西西安710048 

基　　金：陕西省教育厅专项科研计划资助项目(No.06JK283) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2008年第16卷第6期

页      码：1031-1036页

摘      要：针对通用镀膜仪膜厚监控的稳定性、精度和自动化程度不高的状况,研究了一套新的光电控制分析系统。设计了基于双频调制的四光束光电测试系统,采用双锁相电路和复合滤波的综合数字处理系统进行膜厚监控信号处理,并通过控制分析系统实现自动监控。测试结果经方差分析后表明:反映膜厚控制重复性的膜厚标准偏差<0.55%;信噪比达到1 000;数码显示值的线性度非常高,反射率的数码显示分辨极限为0.02%;系统静态漂移的线性程度很高,漂移率<1.95%/h,静态稳定性优于通用系统2倍。提出的系统极大地提高了光学薄膜厚度监控系统的静态、动态稳定性、信噪比以及膜厚控制精度。

主 题 词：薄膜光学 膜厚监控系统 四光束 双锁相电路 复合滤波 稳定性 精度 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 0702[理学-物理学类] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1004-924X.2008.06.010

馆 藏 号：203748095...