芯片级平面环形微腔的品质因数

作     者：严英占 闫树斌 王少辉 熊继军 

作者机构：中北大学电子测试技术国防重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(批准号:60707014 60778029).国家973前期预研项目(2006CB708308) 山西省重点实验室开放基金(200603020 200603008) 武器装备预研基金项目(9140C120704070C12) 

出 版 物：《纳米科技》 (NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY)

年 卷 期：2008年第5卷第5期

页      码：27-30,61页

摘      要：平面环形微腔作为光学微腔的新型腔体，在保持高品质因数的同时其加工更适合批量生产和易于与其他部件的集成，有着广泛的应用前景。文章讨论并模拟了各因素对平面环形微腔品质因数的影响，在此基础上讨论了高品质因数平面环形微腔的设计和加工。最后给出中北大学微纳中心设计加工的平面环形微腔实例。

主 题 词：光学微腔 平面环形微腔 品质因数 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203748243...