“三明治”MEMS加速度计的设计与分析

作     者：王鹏 徐栋 何凯旋 王文婧 陈博 陈璞 黄斌 

作者机构：北方通用电子集团有限公司微电子部蚌埠233042 

出 版 物：《集成电路通讯》 

年 卷 期：2013年第31卷第2期

页      码：1-10页

摘      要：基于体硅微机械加工技术，设计分析了一种抗冲击“三明治”电容式MEMS加速度计。利用敏感质量块与固定电极构成电容差分结构，在有效提高加速度计灵敏度的同时，减小了寄生电容的干扰，提高了加速度计的测量精度，并对悬臂梁的抗冲击性能做了仿真分析，保证了加速度计工作的可靠性。经仿真与理论计算分析表明，该加速度计在Z轴向的灵敏度为0．125pF／g，谐振频率为4．9kHz，量程为±50g，抗冲击性能可达15000g。

主 题 词：电容加速度计 “三明治”结构 抗冲击 灵敏度 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203750423...