大口径高精度四维调整工作台设计

作     者：张楚鹏 赵则祥 赵惠英 于贺春 张国庆 王文博 ZHANG Chupeng;ZHAO Zexiang;ZHAO Huiying;YU Hechun;ZHANG Guoqing;WANG Wenbo

作者机构：中原工学院机电学院河南郑州450007 

基　　金：国家863计划资助(2008AA042503) 

出 版 物：《制造技术与机床》 (Manufacturing Technology & Machine Tool)

年 卷 期：2013年第6期

页      码：89-94页

摘      要：为了解决大口径高精度光学元件加工和测量过程中的调整问题,研发了一台SWTZT-1400高精度四维调整工作台。文中以四维调整的坐标转换为基础,阐述了四维调整工作台的调整原理,并对大口径高精度四维调整工作台进行了设计。为保证工作台高效率、高精度和高稳定性的调整,工作台整体采用双层结构形式,调平采用八点支撑结构,并配置高可靠性的调心调平锁紧机构,该工作台的上台面直径为1400mm,其平面度≤0.01mm,x、y向的调心范围为±25mm,x、y向的调心误差为0.1μm,x、y向的调平范围为±3°,x、y向的调平误差为10″,可实现大口径高精度光学元件的加工、测量和精密修配中工件装夹位置和角度的精确微量调整,提高光学元件的制造和测量精度。

主 题 词：四维调整工作台 调心调平 大口径 光学元件 高稳定性 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-2402.2013.06.034

馆 藏 号：203750437...