栅网式离子能量分析仪的模拟及实验研究

作     者：潘永强 王飞飞 杭凌侠 弥谦 

作者机构：西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室西安710032 

基　　金：陕西省教育厅重点实验室科研项目(12JS047) 陕西省教育厅专项科研计划项目(2013JK1108) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2014年第34卷第4期

页      码：432-437页

摘      要：为了研究离子源所发射出的离子能量分布规律,本文采用离子光学模拟软件Simion7.0对四栅网离子能量分析仪中网格参数进行了相关模拟实验,理论分析表明,栅网透射率对离子能量的测试有一定影响,在设计栅网式离子能量分析仪时应根据所测等离子体的特性确定网格大小和网格间距。采用研制的四栅网离子能量分析仪对宽束冷阴极离子源在不同条件下的离子能量分布进行了实验测试,测试结果表明,离子源的工作真空度越低,测得的离子平均能量越小;当改变离子源的引出电压时,离子平均能量测试误差小于2%。

主 题 词：栅网式能量分析仪 Simion模拟 离子能量 离子源 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2014.04.23

馆 藏 号：203750745...