MEMS结构的实体建模和分析

作者机构：SolidWorks公司 

出 版 物：《CAD/CAM与制造业信息化》 (DIGITAL MANUFACTURING INDUSTRY)

年 卷 期：2003年第6期

页      码：65-68页

摘      要：在集成电路制造业中,随着技术的发展,实体建模工具将不仅仅局限于帮助MEMS(Microelectromechanical System)设计师简化设计流程,充分利用有限元工具软件进行分析将是发展的趋势。因此,选择合适的实体建模工具对于MEMS设计能否取得成功是至关重要的。SolidWorks除了可以进行MEMS结构设计(在过程中可以进行分析并生成掩膜)外,还可以设计所有相关的产品封装和装配设备,下面就对SolidWorks 3D建模软件在MEMS设计方面的优势做一些介绍。

主 题 词：MEMS 实体建模 集成电路制造业 有限元工具软件 3D可视化 结构设计 So1idWorks 3D 亚微米特性 配置管理 关联掩膜 热分析 静态分析 静电分析 

学科分类：081203[081203] 08[工学] 0835[0835] 0812[工学-测绘类] 

馆 藏 号：203752040...