子孔径拼接干涉检测实验研究

作     者：张蓉竹 石琪凯 蔡邦维 许乔 

作者机构：四川大学电子信息学院光电系四川成都610064 成都精密光学工程研究中心四川成都610041 

出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)

年 卷 期：2004年第30卷第2期

页      码：173-175页

摘      要：为了满足国内ICF系统大口径光学元件的检测需要,提出了子孔径拼接干涉检测的方法。该方法是利用小口径干涉仪对大口径光学元件进行高精度波前检测。建立了拼接检测计算的模型。利用最小二乘法计算得到拼接参数,从而恢复大口径光学元件的全孔径波前相位分布。在理论分析的基础上设计了一套检测装置,对该装置的稳定性进行了实验研究。进行了两口径拼接检测的实验。拼接结果与全孔径检测结果进行了比较。结果表明,该检测方案能够满足大口径光学元件的检测要求。

主 题 词：大口径光学元件 子孔径拼接 计算模型 ICF系统 相移干涉仪 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 082701[082701] 0827[工学-食品科学与工程类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1002-1582.2004.02.004

馆 藏 号：203752251...