Ni-Cr薄膜换能元点火性能研究

作     者：任小明 解瑞珍 薛艳 刘兰 张晶鑫 王可暄 REN Xiao-ming;XIE Rui-zhen;XUE Yan;LIU Lan;ZHANG Jing-xin;WANG Ke-xuan

作者机构：中国兵器工业第213研究所火工品安全性可靠性技术国防科技重点实验室陕西西安710061 

基　　金：重点实验室基金(9140C370205090C37) 

出 版 物：《火工品》 (Initiators & Pyrotechnics)

年 卷 期：2011年第2期

页      码：4-6页

摘      要：针对微火工品和微推进器集成化的发展需求,以及制作工艺与MEMS、半导体工艺相兼容并能实现低能发火的要求,对Ni-Cr薄膜换能元进行了研究,设计制作了几种不同桥区尺寸和薄膜厚度的Ni-Cr薄膜换能元,并对其电发火性能进行了测试。结果表明:在同一桥区尺寸的条件下,Ni-Cr薄膜发火感度随桥膜厚度的增加而升高;在相同的桥膜厚度下,Ni-Cr薄膜的发火感度随桥区尺寸的增大而降低。

主 题 词：Ni-Cr薄膜 桥区尺寸 发火感度 

学科分类：08[工学] 082603[082603] 0826[工学-生物医学工程类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-1480.2011.02.002

馆 藏 号：203756232...