光栅光谱仪光路结构的设计

作     者：陈至坤 王淑香 王玉田 王福斌 Chen Zhikun;Wang Shuxiang;Wang Yutian;Wang Fubin

作者机构：燕山大学河北省测试计量技术及仪器重点实验室河北秦皇岛066004 华北理工大学电气工程学院河北唐山063009 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2015年第36卷第5期

页      码：704-708页

摘      要：为提高光栅光谱仪的波长扫描精度,设计了一套可对光栅转动情况进行实时反馈的系统结构,实现了仪器在高速和高精度扫描上的统一。在对反馈结构进行设计时,应用光栅尺测位移技术对正弦丝杆上的滑块进行位移反馈,由计算机对其进行接收和处理。对比实验显示,仪器本身波长扫描精度为0.7nm,加入反馈电路进行反馈后波长扫描精度可达0.15nm。结果表明,加入对光栅转动情况的反馈结构后,可使光栅光谱仪满足高精度扫描要求。

主 题 词：光栅光谱仪 步进电机 正弦机构 反馈控制 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.5768/jao201536.0501007

馆 藏 号：203758142...