阈值可调的微机电惯性开关

作     者：刘双杰 郝永平 LIU Shuang-jie;HAO Yong-ping

作者机构：沈阳理工大学装备工程学院沈阳110159 

基　　金：辽宁省教育厅项目(L2013093) 沈阳理工大学兵器科学与技术重点实验室开放基金 

出 版 物：《中国惯性技术学报》 (Journal of Chinese Inertial Technology)

年 卷 期：2014年第12卷第4期

页      码：543-546页

摘      要：针对惯性开关通用性的要求，设计了一种具有阈值可调功能的微机电惯性开关。利用CoventorWare软件中的Architect模块对该悬臂梁结构开关进行系统级仿真。仿真结果表明，开关在半正弦加速度信号作用下，加速度阈值和电压基本呈线性关系，通过调整偏置电压的方式，可测量不同阈值加速度；以500g为一档，调节加速度阈值范围为1000~4000g，开关最长响应时间为63.44μs，接触时间无穷大，表现出良好的工作性能。考虑MEMS薄膜沉积工艺在加工4μm厚的悬臂梁时存在±0.1μm加工误差，应用蒙特卡洛法分析悬臂梁厚度在3.9~4.1μm之间变化时，对开关吸合电压和闭合时间的影响，结果表明，±0.1μm的加工误差对开关吸合电压和闭合时间影响在设计允许范围内。

主 题 词：MEMS 惯性开关 阈值可调 吸合电压 加工误差 

学科分类：08[工学] 081105[081105] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2014.04.022

馆 藏 号：203762229...