邻近导体布局对电光测量的影响

作     者：闫欣 张洪波 张大明 侯阿临 刘鸿飞 衣茂斌 

作者机构：吉林大学集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区吉林长春130023 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(68976014) 

出 版 物：《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期：2004年第34卷第4期

页      码：428-431页

摘      要：　采用静态有限差分法[1],求解了电光探测时探头内部的电场分布;发现了电光信号随布线的变化,设计了一系列不同布线的电极;采用ITO导电膜进行电光信号幅度校准并减少串扰。理论分析与实验结果符合得很好。最后,分析了ITO导电膜对CMOS反相器高频特性的影响。

主 题 词：电光测量 邻近导体布局 信号幅度校准 参考电极 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-3365.2004.04.016

馆 藏 号：203762259...