超深亚微米高速互连的信号串扰研究

作     者：史江一 马晓华 郝跃 方建平 朱志炜 SHI Jiangyi;MA Xiaohua;HAO Yue;FANG Jianping;ZHU Zhiwei

作者机构：西安电子科技大学微电子学院西安710071 

基　　金：国家自然科学基金(60506020/F040208) 

出 版 物：《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)

年 卷 期：2006年第26卷第4期

页      码：540-544,559页

摘      要：探讨了超深亚微米设计中的高速互连线串扰产生机制,提出了一种描述高速互连串扰的电容、电感耦合模型,通过频域变换方法对模型的有效性进行了理论分析。针对0.18μm工艺条件提出了该模型的测试结构,进行了流片和测量。实测结果表明,该模型能够较好地表征超深亚微米电路的高速互连串扰效应,能够定量计算片上互连线间的耦合串扰,给出不同工艺的互连线长度的优化值。

主 题 词：串扰 互连 超深亚微米 信号完整性 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-3819.2006.04.024

馆 藏 号：203763088...