纳米结构在微纳传感器应用中的介电泳操控研究

作     者：刘伟景 张健 万丽娟 蒋珂玮 

作者机构：华东师范大学信息学院电子系上海200062 

出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)

年 卷 期：2007年第38卷第A6期

页      码：2243-2246页

摘      要：要将纳米结构作为功能元件应用在微纳传感器等电学系统中，首先要解决的问题是材料的定位操作问题。介电泳技术是一种很有潜力的纳米操控技术。在自行设计的几种电极的基础上，采用介电泳技术对微纳米材料进行操控，可以实现微纳米材料沿电场方向的排布并口电极间的跨接。初步测试了采用介电泳技术操控自行生长的纳米结构制作而成的湿度传感器的基本特性，结果表明介电泳技术可以很好地实现纳米材料在传感器领域中的应用。

主 题 词：介电泳 微纳传感器 定位操控 相对湿度 纳米氧化锌 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

馆 藏 号：203763351...