一种基于SOI的集成光波导耦合系统的设计与制备

作     者：李鹏 张宇光 王丽 刘正 严英占 仝晓刚 薛晨阳 闫树斌 LI Peng;ZHANG Yuguang;WANG Li;LIU Zheng;YAN Yingzhan;TONG Xiaogang;XUE Chenyang;YAN Shubin

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 

基　　金：国家973计划前期研究专项(2009CB326200) 国家自然科学基金项目(50975266 60707014 60778029) 重点实验室基金项目(9140c1204040909) 总装创新项目(7130907) 山西省自然科学基金项目(2010011003) 山西省研究生优秀创新项目(20103083) 山西省重点实验室开放项目(200911059-16) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2011年第24卷第6期

页      码：839-842页

摘      要：根据锥形光纤与平面环型微腔耦合原理,使用L-Edit版图设计软件设计并优化了锥形光波导与微腔耦合系统。利用MEMS工艺对SOI圆晶片进行加工,从而实现了锥形光波导与跑道型以及环型光波导微腔的集成。其中,光波导以及微腔通过ICP刻蚀顶层硅而成,矩形槽通过RIE刻蚀衬底硅而成。光波导两侧的矩形凹槽可方便光纤接入以及对出射光的探测,从而提高了光波导微腔耦合系统的稳定性。

主 题 词：锥形光波导 耦合 ICP RIE 跑道型微腔 环型微腔 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2011.06.012

馆 藏 号：203764830...