电阻阵列红外景物产生器微桥结构的研制及仿真

作     者：周顺 刘卫国 蔡长龙 刘欢 秦文罡 ZHOU Shun;LIU Wei-guo;CAI Chang-long;LIU Huan;QING Wen-gang

作者机构：西安工业大学光电工程学院西安710032 

基　　金：陕西省教育厅专项科研计划项目(2010JK590) 陕西省重点实验室开放基金项目(ZSKJ200904) 西安工业大学"薄膜技术与光学检测"科研创新团队建设计划资助 

出 版 物：《西安工业大学学报》 (Journal of Xi’an Technological University)

年 卷 期：2012年第32卷第8期

页      码：613-616页

摘      要：为了进一步提高电阻阵列红外景物产生器的性能,设计并制作了该器件的微桥结构.利用SiOx与TiWN分别作为微桥结构的介电材料与电阻材料;利用表面工艺技术制作160×120阵列微桥结构;并对微桥结构进行了热学性能的仿真分析.研究结果表明:所设计的工艺流程可行,成功制作了微桥结构阵列;制作的微桥桥面具有良好的温度分布均匀性;在相同电功率下,采用低热导率的SiOx薄膜取代SiNx薄膜能够显著提高桥面温度.

主 题 词：红外景物产生器 微桥 微加工技术 SiOx TiWN 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-9965.2012.08.003

馆 藏 号：203765543...