机器人在光伏扩散工序上下料中的应用

作     者：苗泽志 范新丽 戎有兰 MIAO Zezhi;FAN Xinli;RONG Youlan

作者机构：中国电子科技集团公司第二研究所太原030024 

出 版 物：《现代制造技术与装备》 (Modern Manufacturing Technology and Equipment)

年 卷 期：2013年第49卷第4期

页      码：29-30页

摘      要：通过分析光伏生产线上下料的现状,指出扩散工序上下料的难度,以及扩散工序上下料的必要性。本文主要介绍了扩散工序上下料设备的主要结构设计,包括篮具校正系统、机器人吸取片系统、硅片校正系统、石英舟系统组成、电气控制系统等,并分析了关键技术及解决方法。

主 题 词：光伏 扩散 上下料 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-5587.2013.04.012

馆 藏 号：203765940...