基于键合技术的新型集成光学干涉仪

作     者：李以贵 惠春 宓晓宇 羽根一博 

作者机构：上海交通大学微纳米技术研究院上海200030 日本东北大学机械电子系日本9808579 

基　　金：中日国际合作项目基金支持项目 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2003年第40卷第7期

页      码：397-399页

摘      要：提出了一种基于超薄薄膜光电二极管 (PD)构成的新型集成光学干涉仪构造方案 ,基于键合技术 ,论证了超薄薄膜光电二极管阵列集成化构成集成光学干涉仪的可能性。着重描述了集成光学干涉仪构造关键部件———超薄薄膜光电二极管的设计、制造及其特性。所构成的集成光学干涉仪经实验得到初步验证 ,结果表明 。

主 题 词：光学干涉仪 键合技术 薄膜光电二极管 制作工艺 工作原理 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2003.07.118

馆 藏 号：203770949...