四阶Sigma-Delta微加速度计系统设计与分析

作     者：刘晓为 刘云涛 姜一鸣 尹亮 

作者机构：哈尔滨工业大学MEMS中心哈尔滨150080 哈尔滨工业大学微系统与微结构教育部重点实验室哈尔滨150080 哈尔滨工程大学信息与通信工程学院哈尔滨150001 

基　　金：国家高技术发展计划资助项目(2008AA042201) 

出 版 物：《哈尔滨工业大学学报》 (Journal of Harbin Institute of Technology)

年 卷 期：2011年第43卷第7期

页      码：38-41页

摘      要：为了降低Sigma-Delta(ΣΔ)微机械加速度计量化噪声,提高系统分辨率,完成了一种单环四阶ΣΔ微加速度计的分析与设计,建立了系统的线性模型,并在此基础上,采用根轨迹法分析了系统稳定性.理论分析表明所建立的四阶ΣΔ微加速度计系统在噪声特性、死区、空闲音方面都具有优良的特性.在系统级的分析与讨论基础上,实现了传感器接口电路晶体管级的设计,该电路采用0.5μm 2层多晶2层金属CMOS工艺流片,系统测试结果表明该加速度计灵敏度为1.2 V/g,非线性度为0.2%,开环噪声密度12μg/Hz1/2,闭环噪声密度80μg/Hz1/2,整体功耗为40 mW.

主 题 词：微加速度计 Sigma-Delta 系统级 稳定性 

学科分类：08[工学] 081101[081101] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

馆 藏 号：203771638...