MEMS水平谐振式磁强计的建模与仿真

作     者：胡穆之 尤政 杨建中 张弛 HU Mu-zhi, YOU Zheng, YANG Jian-zhong, ZHANG Chi (Department of Precision Instrument and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084, China)

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系北京100084 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)部分资助(2006AA04Z341) 

出 版 物：《系统仿真学报》 (Journal of System Simulation)

年 卷 期：2009年第21卷第9期

页      码：2787-2790页

摘      要：设计了一种基于洛仑兹力原理的水平谐振式磁强计。该磁强计利用了通电导线感应磁场强度并转化为电容值的方法进行检测,具有较高的灵敏度,结构相对简单,加工难度较小。建立了敏感元件的力学模型,推导了系统刚度、挠度、谐振频率和敏感度公式,并进行了有限元仿真,仿真结果与理论计算的挠度和谐振频率相吻合,验证了该方案的可行性和理论模型的合理性。

主 题 词：磁强计 谐振 微机电系统 建模 仿真 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0701[理学-数学类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.16182/j.cnki.joss.2009.09.024

馆 藏 号：203773289...