NDIR乙烷气体传感器中滤光膜的研制

作     者：王平贵 付秀华 张静 刘冬梅 WANG Pinggui;FU Xiuhua;ZHANG Jing;LIU Dongmei

作者机构：长春理工大学光电工程学院 

基　　金：吉林省重大科技攻关专项(20140203002GX) 

出 版 物：《长春理工大学学报（自然科学版）》 (Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition))

年 卷 期：2019年第42卷第4期

页      码：42-45页

摘      要：为满足NDIR乙烷气体传感器的使用要求,对气体探测系统中的滤光膜进行研制。根据甲烷与乙烷气体分子的红外吸收光谱,红外探测器的响应度以及系统的灵敏度确定了滤光膜的技术参数。选用Ge和Nb2O5分别作为高低折射率薄膜材料,根据拆分技术原理并借助膜系设计软件完成了滤光膜的双面设计,解决了滤光膜截止区域宽,且单面设计膜层应力过大的问题。采用直流脉冲磁控溅射真空镀膜的方法,制备的滤光膜在中心波长6.7μm处的透过率为72.09%,半峰值带宽为301nm,2.5~6.3μm和7.1~10μm的平均透过率为0.13%和0.01%,减小了其余干扰气体的影响,提高了探测系统的信噪比。薄膜样品经过了附着力测试,满足系统使用要求。

主 题 词：NDIR 光学薄膜 滤光膜 乙烷 气体传感器 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-9870.2019.04.011

馆 藏 号：203776034...