新型三自由度宏微运动平台设计与仿真分析

作     者：张金迪 高健 钟耿君 张揽宇 王晓亮 王佳印 Zhang Jindi;Gao Jian;Zhong Gengjun;Zhang Lanyu;Wang Xiaoliang;Wang Jiayin

作者机构：广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室 

基　　金：国家自然科学基金项目(51675106,U1601202) 广东高校建设重大科研项目(17ZK0091) 

出 版 物：《现代制造工程》 (Modern Manufacturing Engineering)

年 卷 期：2019年第8期

页      码：125-129页

摘      要：针对集成电路制造、超精密检测仪器及微机电系统加工制造等领域对大行程、多自由度、高速及高精度运动平台日益迫切的需求,提出一种新型大行程三自由度宏微运动平台。该平台采用直线电动机与压电陶瓷进行宏微双重驱动,采用直线光栅与平面光栅实现双闭环位置反馈与控制。基于该平台结构设计,确定其位置正解方程与位置逆解方程,并列举算例验证。基于ADAMS软件对平台进行运动仿真,分析不同驱动类型与驱动参数对运动平台位移、速度及加速度的影响。最后,针对宏微双重驱动传动的精度问题进行实验研究。结果表明,该平台运动学方程正确有效,具有较好的动态响应性与运动规划性,且该种驱动传动形式满足大行程、高速及高精度的性能要求。

主 题 词：宏微运动平台 双闭环 运动学 仿真 

学科分类：080704[080704] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

D　O　I：10.16731/j.cnki.1671-3133.2019.08.021

馆 藏 号：203778527...