基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究

作     者：吴义伯 侯安州 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 WU Yi-bo;HOU An-zhou;NI He-nan;XU Ai-lan;HUI Chun;REN Qiu-shi

作者机构：上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 上海交通大学生命科学技术学院上海200030 

基　　金：国家973资助项目(G2005CB7243002) 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2007年第32卷第12期

页      码：1018-1020,1036页

摘      要：基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。

主 题 词：柔性微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 神经接口 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353X.2007.12.002

馆 藏 号：203778769...