微米纳米科学技术发展及产业化启示

作     者：丁衡高 朱荣 DING Heng-gao;ZHU Rong

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系北京100084 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2007年第5卷第4期

页      码：235-241页

摘      要：近年来,微米纳米科学技术发展迅速,在产业化方面已经取得了不少进展.本文从发展现状和趋势上,结合我国具体情况,阐述了以下观点:开展创新工艺和设计方法研究,提高微机电(MEMS)应用和产业化能力;开展基础研究,提高MEMS器件和系统的水平;加强微米/纳米科学技术成果的结合.最后对今后研究工作提出了建议.

主 题 词：微机电系统 纳米科技 发展现状与趋势 

学科分类：07[理学] 070205[070205] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 0807[工学-电子信息类] 0804[工学-材料学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0703[理学-化学类] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2007.04.001

馆 藏 号：203778829...